特許

J-GLOBAL ID：200903039380216310

基板処理システム及び基板処理方法

発明者： 林田 安 ,  林 伸一 ,  原 圭孝
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-166939
公開番号（公開出願番号）：特開2006-344658
出願日： 2005年06月07日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

【課題】連続する処理工程を行うモジュールを複数具備する基板処理システムにおいて、基板に不良箇所が生じた際に、その原因となる不具合を有する処理装置を容易に特定でき、且つ、基板の処理枚数が多い場合にスループットの低下を抑制することのできる基板処理システム及び基板処理方法を提供する。【解決手段】 搬送元のモジュールから搬送先のモジュールに前記基板を搬送する基板搬送手段と、搬送元と搬送先のモジュール割り当て方法を取り決めた少なくとも2つの搬送モードのいずれかに基づき基板搬送手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、基板の処理工程中において、搬送モードの切り換え命令を受け取ると、実行中の搬送モードから他の搬送モードに切り換え、切り換えた搬送モードに基づいて基板搬送手段に基板を搬送させる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

複数の基板に対し複数の工程に亘り枚葉式に処理を行うと共に、連続する処理工程において、夫々の処理を行うモジュールを複数具備する基板処理システムであって、 搬送元のモジュールから搬送先のモジュールに前記基板を搬送する基板搬送手段と、 搬送元と搬送先のモジュール割り当て方法を取り決めた少なくとも2つの搬送モードのいずれかに基づき前記基板搬送手段を制御する制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記基板の処理工程中において、前記搬送モードの切り換え命令を受け取ると、実行中の搬送モードから他の搬送モードに切り換え、切り換えた搬送モードに基づいて前記基板搬送手段に基板を搬送させることを特徴とする基板処理システム。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/30 562

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA03 ,  5F031PA04 ,  5F031PA30 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046DA29 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046KA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理システム及び塗布、現像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-397558   出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-265955   出願人：大日本スクリーン製造株式会社