特許
J-GLOBAL ID：200903039385467396
X線による試料表面観察装置ならびにX線による金属の結晶状態評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-135586
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329619
出願日： 2002年05月10日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、X線により高温時の表面および表面付近の構造を観察するための方法及びそれを実現する装置を提供する。【解決手段】 X線による試料表面観察装置は、試料表面にX線を照射し、該表面から発生するX線のエネルギーと強度との少なくとも1つの空間分布を検出することにより、該試料の構造を解析する装置であって、測定部が、少なくとも2つのX線透過窓が取付けられており試料表面付近のガス雰囲気を制御するための容器と、試料保持台と、加熱体と、保温カバーとから構成され、該加熱体の上方に該試料保持台が設置され、前記試料を覆うように該加熱体または該試料保持台上に保温カバーが設置されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料表面にX線を照射し、該表面から発生するX線のエネルギーと強度との少なくとも1つの空間分布を検出することにより、該試料の構造を解析する装置であって、測定部が、少なくとも2つのX線透過窓が取付けられており試料表面付近のガス雰囲気を制御するための容器と、試料保持台と、加熱体と、保温カバーとから構成され、該加熱体の上方に該試料保持台が設置され、前記試料を覆うように該加熱体または該試料保持台上に保温カバーが設置されていることを特徴とするX線による試料表面観察装置。
Fターム (20件)：
2G001AA01
, 2G001BA15
, 2G001BA18
, 2G001BA19
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001HA12
, 2G001KA01
, 2G001KA08
, 2G001KA11
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001PA13
, 2G001PA30
, 2G001QA01
, 2G001QA10
, 2G001SA01
