特許

J-GLOBAL ID：200903039394837570

干渉測定方法及び干渉計

発明者： 柳 志強
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-185472
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010412
出願日： 2004年06月23日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】本発明は、干渉縞の位相を高精度に変調することのできる干渉測定方法及び干渉計を提供することを目的とする。【解決手段】本干渉測定方法では、被検物(1)と参照物(2)との相対位置関係を保ちながらそれら被検物(1)及び参照物(2)に投光すべき光束の投光角度を変化させ、前記投光角度の変化に伴い干渉縞に生じる輝度変化を検出する。このように投光角度を変化させると、干渉縞の位相が変調されるが、光源の波長の変化、被検物と参照物との相対位置関係の変化を何ら伴わない。また、位相を変調するための運動は、移動ではなく回動である。よって、位相の変調精度は高い。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検物と参照物との相対位置関係を保ちながらそれら被検物及び参照物に投光すべき光束の投光角度を変化させる変化手順と、 前記投光角度の変化に伴い干渉縞に生じる輝度変化を検出する手順と を含むことを特徴とする干渉測定方法。

IPC (1件)：

G01B 9/02

FI (1件)：

G01B9/02

Fターム (8件)：

2F064AA09 ,  2F064BB03 ,  2F064CC10 ,  2F064DD05 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03