特許
J-GLOBAL ID：200903039399747693
欠点検査装置および欠点検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-334104
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139454
出願日： 2000年11月01日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板の表面と裏面とで検査精度が異なる場合においても、1セットの画像処理装置を用いて、ガラス基板の表面と裏面とを同時に、表面と裏面の検査精度をそれぞれの割合で欠点検査を行う。【解決手段】 CCDラインセンサカメラ1の前に取り付けられたマクロレンズ11のピントをガラス基板4の表面に合わせ、マクロレンズ11の絞り、焦点距離、拡大倍率を調節することにより被写界深度を浅くし、ガラス基板4の表面と裏面の検査精度を調節してガラス基板4に存在する欠点を検査する。
請求項（抜粋）：
光を透過する、表面と裏面とで検査精度の異なる板状の検査対象物に存在する欠点を検査する欠点検査装置において、CCDラインセンサカメラの前に取り付けられたマクロレンズの被写界深度を調節する手段を備え、前記検査対象物の表面と裏面の検査精度を調節して検査対象物に存在する欠点を検査することを特徴とする欠点検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/958
, G01M 11/00 T
2G051AA42
, 2G051AB07
, 2G051AB08
, 2G051BB09
, 2G051CA04
, 2G051DA06
, 2G051EA12
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G086EE10
