特許
J-GLOBAL ID：200903039401819044
処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-258634
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074914
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 処理室を形成する隔離壁を貫通させる貫通端子の使用数を減少し、あるいは使用をやめることにより気密維持を容易にすること。【構成】 処理室1を形成する隔離壁2に近赤外線の伝送信号103の透過を許す部材で構成された透過窓3を形成すると共に処理室1内の熱電対7,8で検出した温度信号101を近赤外線の伝送信号103に変換して該透過窓3を通して外部に送出する室内送信器11と、透過窓3を透過した前記伝送信号103を外部で受信して温度表示用信号106を得る外部受信器14を設けることにより、隔離壁2の貫通端子を廃止して処理室と外部の間の気密性の劣化を防止した。
請求項（抜粋）：
隔離壁により外部から気密に隔離された処理室と、該処理室内に設置された物理量検出手段とを備えた処理装置において、前記隔離壁に設けられ伝送エネルギーの透過を許す部材で構成された透過窓と、前記物理量検出手段で検出した検出信号を信号伝送エネルギーに変換して前記透過窓を通して外部に送出する室内送信手段と、外部に設けられ前記透過窓を透過した前記信号伝送エネルギーを受信して物理量検出信号を得る外部受信手段とを設けたことを特徴とする処理装置。
IPC (2件)：
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