特許
J-GLOBAL ID:200903039405061863
電解析出法による合金及びそれを用いた マイクロアレイコネクター
発明者:
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出願人/特許権者:
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公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-119886
公開番号(公開出願番号):特開平11-269587
出願日: 1998年03月24日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【目的】 本発明の解決しようとする課題は,高硬度,高弾性変形能,かつ高塑性変形能とを併せ有し,マイクロ構造体や長寿命表面被覆材として使用可能な合金と,前記合金を用いて脱着が容易で,接触不良が無く,脱着回数に対して高寿命の実用的な1次元又は2次元マイクロコネクタとを提供することである.【構成】 ニッケル,鉄,コバルト,タングステンおよびモリブデン等の金属イオンを含んだ水溶液中に,金属錯化剤としてクエン酸イオンおよびアンモニウムイオンを添加した電解水溶液を用いる.前記電解水溶液中にて金属原子の電解析出効率の高い電解浴温度および電解電流密度の条件下で電解析出された合金は,高硬度,高弾性変形能・高塑性変形能を有する.これら前記合金をマイクロアレイコネクタの電極として用いることにより,高いビッカース硬度は接触摺動面の機械的・化学的安定性を保証し,高弾性変形能と高塑性変形能は充分な接触圧による低い接触電気抵抗と無破断による長寿命とを保証する.
請求項(抜粋):
W又はMo15〜30原子%を含有し,残部がNiもしくはCoよりなる合金であって,水素含有量を5原子%以下に制限することによって,ビッカース硬度500DPN以上の高硬度を示し,かつ抗折曲げ試験における歪量0.01以上の高弾性変形能を有し,歪量1.0においても破断を生じない高塑性変形能を有することを特徴とするニッケル基もしくはコバルト基電解析出合金.
IPC (3件):
C22C 19/03
, C22C 19/07
, H01L 23/32
FI (3件):
C22C 19/03 Z
, C22C 19/07 Z
, H01L 23/32 D
引用特許:
引用文献:
審査官引用 (1件)
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二元合金の標準状態図, 19530115, p.212,224,274,293,362
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