パーティクル除去装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168778
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013362
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】マスクに装着を行ったペリクルに付着したパーティクルを短時間で検出し、N2ガンによって確実なパーティクル除去を行うパーティクル除去装置である。【構成】ペリクル1の装着されたマスク2をホルダー3上でモーター9によって回転させる。ペリクル上に付着したパーティクルは、He-NeあるいはArレーザー照射部5からペリクルに照射されるレーザーの散乱光によって受光部6がその有無を判断する。また、異物検査で検知したパーティクルは、受光部6がパーティクルの有無をN2ガン7の噴射口開閉センサー8に情報を送り、パーティクルがあると判断した場合は、N2ガン7がパーティクルに向かって噴射され、除去される。

請求項（抜粋）：

ペリクルを装着したマスクと、前記マスクを載せるホルダーと、前記ホルダー上に載せた前記マスクの前記ペリクル上を走査させるHe-NeあるいはArレーザー照射部と、前記照射部からペリクル上に照射されたレーザーの散乱光を受光する受光部と、前記受光部からパーティクルの有無の情報が送られる噴射口開閉センサーと、前記噴射口開閉センサーによってN2ガスを噴射することを特徴とするパーティクル除去装置。

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