特許
J-GLOBAL ID：200903039410666056
角速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大庭 咲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-307080
公開番号（公開出願番号）：特開2004-004127
出願日： 2003年08月29日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】 角速度検出装置における検出精度を向上させる。【解決手段】 基板にX軸およびY軸方向に振動可能に支持された振動子20をX軸方向に振動させて、Z軸回りに作用する角速度を振動子20のY軸方向の振動に基づいて検出する。振幅制御回路94a、サーボアンプ96a、乗算器97aなどからなるサーボ制御回路は、角速度に応じた振動子20のY軸方向の振動を抑制するための第1サーボ制御信号を形成する。振幅制御回路94b、サーボアンプ96b、乗算器97bなどからなるサーボ制御回路は、振動子20の駆動によるY軸方向の漏れ振動を抑制するための第2サーボ制御信号を形成する。これらの第1および第2サーボ制御信号により、振動子20のY軸方向の振動を抑制したうえで、出力回路80は、第1サーボ制御信号に対応した信号を角速度を表す信号として出力する。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
基板に支持部材を介して接続され同基板上にて互いに直交するX軸方向及びY軸方向に振動可能な振動部と、前記振動部を前記基板に対してX軸方向に振動させるための駆動部と、前記振動部の前記基板に対するY軸方向の振動を検出するための検出部とを備え、前記振動部をX軸方向に振動させた状態でX軸及びY軸に直交したZ軸回りに作用する角速度を同振動部のY軸方向の振動に基づいて検出する角速度検出装置において、
前記振動部のY軸方向の振動を抑制するためのサーボ部と、
前記駆動部と協働して前記振動部を前記基板に対し所定の振幅でX軸方向に振動させる駆動回路と、
前記検出部と協働して前記振動部の前記基板に対するY軸方向の振動を表す信号を取り出す取り出し回路と、
前記駆動回路から入力した前記振動部の角速度による振動に同期した信号と、前記取り出し回路から入力した前記振動部のY軸方向の振動を表す信号とに基づいて、前記角速度に応じた前記振動部のY軸方向の振動を抑制するための第1サーボ制御信号を形成し、同形成した第1サーボ制御信号を前記サーボ部に供給して前記角速度に応じた前記振動部のY軸方向の振動を抑制する第1サーボ制御回路と、
前記駆動回路から入力した前記振動部の駆動によるY軸方向の漏れ振動に同期した信号と、前記取り出し回路から入力した前記振動部のY軸方向の振動を表す信号とに基づいて、前記漏れ振動を抑制するための第2サーボ制御信号を形成し、同形成した第2サーボ制御信号を前記サーボ部に供給して前記振動部のY軸方向の漏れ振動を抑制する第2サーボ制御回路と、
前記第1サーボ制御信号に対応した信号を前記角速度を表す信号として出力する出力回路とを設けたことを特徴とする角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105BB01
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
