特許

J-GLOBAL ID：200903039416803047

赤外顕微・FT-IR装置及び記録媒体の分析方法

発明者： 岸井 典之 ,  亀井 隆広 ,  小林 健
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081196
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146830
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 高密度記録媒体の表面部の有機材料について定性・定量分析を簡便・的確に行うことができる赤外顕微・FT-IR装置及び分析方法を提供する。【解決手段】 上記装置を干渉光源部10、測定部20及び信号処理部30で構成し、測定部20では、密閉した試料室内にGeからなる半球状プリズム21と、入射角度可変装置22と、サンプル表面からの全反射光を感知するディテクタ23とを設ける。入射角度可変装置22は、一対の放物面鏡を対向配備して構成する。シングルビーム測定装置による分析に際しては、サンプルSとしてのフロッピーディスクの磁性層形成側の表面をプリズム底面に接圧10kgf/cm2以下で密着させる。プリズムに対する赤外光の入射角度θをスキャンし、サンプル表面で全反射した赤外光のスペクトルをFT-IR装置で解析する。同様の操作をリファレンスRについて行い、サンプル磁性層における深さ方向の有機性潤滑剤含有濃度のプロファイルを求める。

請求項（抜粋）：

試料表面にプリズムを密着させ、該プリズムに赤外光を所定角度で入射させ、試料表面で全反射した赤外光のスペクトルをFT-IR装置で解析することにより試料表面部の分析を行う、減衰全反射法に基づく赤外顕微・FT-IR装置において、プリズムとして底面が平滑な平面である半球状プリズムを備え、かつ試料装着部と入射光学系が前記半球状プリズムによって互いに隔てられている入射角度可変の光学系を設けたことを特徴とする赤外顕微・FT-IR装置。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/35

FI (3件)：

G01N 21/27 C ,  G01N 21/27 E ,  G01N 21/35 Z

Fターム (18件)：

2G059AA01 ,  2G059BB15 ,  2G059CC12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE10 ,  2G059FF08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  2G059MM20 ,  2G059PP04