特許
J-GLOBAL ID：200903039419153426
熱プラズマ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-246031
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111298
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 長時間に渡ってプラズマを安定的に形成することができる熱プラズマ装置を実現する。【構成】 形成されたプラズマPの周辺部の光は、円筒部材2の上部に設けられた透明部材21を介してセンサー22に入射する。多数のセンサーからの光は分光器23によって分光され、特定の波長の光の強度が検出される。この各センサー22からの光に基づいて検出された信号は、コンピュータに供給されて記憶される。コンピュータには予めプラズマの特定の波長による発光強度とプラズマ形状の関係がデータベースとして記憶されている。コンピュータは記憶された理想的な特定波長の光の発光強度分布と、実際に測定された発光強度分布とを比較する。この比較結果に基づいてプラズマ形状に影響を与えるパラメータの制御を行う。
請求項（抜粋）：
プラズマガスを加熱することにより熱プラズマを発生させるようにした熱プラズマ装置において、形成されたプラズマの上部からプラズマの周辺部の光をモニターする手段を複数配置し、複数のモニター手段からの信号に基づいてプラズマの形成に寄与するパラメータを制御する制御手段を設けたことを特徴とする熱プラズマ装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23C 4/12
, C23C 14/24
, H05H 1/26
