特許
J-GLOBAL ID：200903039426040882
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-212275
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050334
出願日： 1993年08月03日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 各単位処理部に対して基板を自在に出し入れすることが可能であるとともに、装置全体としてコンパクトで基板を搬送する基板搬送手段のメンテナンスも容易であり、更に、基板搬送手段からの発塵による前記基板の汚染を防止することができる基板処理装置を提供する。【構成】 下段処理列C1 よりも下方の位置に設けられたレール対201,202に、基板搬送ユニット101,102がそれぞれX方向に並進自在に付設され、水平搬送機構110が構成される。また、水平搬送機構110にアーム機構からなる垂直搬送機構120aが連結されるとともに、その先端にハウジング131が固定される。このハウジング131内には水平Y方向に屈伸可能な2組の基板出入機構が収容されており、基板を搬送路と単位処理部PP1 ,PP2 との間で搬送自在となっている。
請求項（抜粋）：
複数の単位処理部がそれぞれ水平方向に配列されてなる複数の処理列が垂直方向に重なるように上段及び下段にそれぞれ配設されて多段処理列とされ、基板搬送手段により該多段処理列の各単位処理部に基板を搬送しつつ該基板に対して一連の処理を行う基板処理装置であって、前記基板搬送手段が、多段処理列に沿って配置された搬送路に沿って前記基板を水平方向に移送する水平搬送機構と、該水平搬送機構によって移送された基板を上下方向に移送するように、水平回転軸回りに回転する垂直回転アームによって構成された垂直搬送機構と、該水平搬送機構によって移送された基板を前記搬送路上と単位処理部内との間に搬送するように、垂直回転軸回りに回転する水平回転アームによって構成された基板出入機構とで構成されるとともに、上記水平搬送機構の駆動部が前記多段処理列の下段処理列よりも下方側に配置されたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 19/00
, B65G 49/07
, B65G 65/02
