粒子線照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-292117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106778
出願日： 1995年10月12日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】デッドスペースをなくし、種々の大面積の形状に対応し、照射面積の有効化を図る。【解決手段】プラズマ19を発生しイオンを生成するプラズマ室18と、前記プラズマ室18に磁場を発生させる磁場発生手段と、前記プラズマ室で生成されたイオンを電界で引き出しイオンビームを生成する引き出し電極23を備えたイオン源を、隣接して複数個配列したイオン源装置、あるいは前記引き出し電極のかわりに前記プラズマを試料台方向に拡散放出させるプラズマ放出口を備えたプラズマ源を、隣接して複数個配列したプラズマ源装置において、前記プラズマ室外形状、あるいはイオン引き出し電極形状またはプラズマ源形状を多角形状とする。

請求項（抜粋）：

プラズマを発生しイオンを生成するプラズマ室と、前記プラズマ室に磁場を発生させる磁場発生手段と、前記プラズマ室で生成されたイオンを電界で引き出しイオンビームを生成する引き出し電極を備えたイオン源を、隣接して複数個配列したイオン源装置、あるいは前記引き出し電極のかわりに前記プラズマを試料台方向に拡散放出させるプラズマ放出口を備えたプラズマ源を、隣接して複数個配列したプラズマ源装置において、前記プラズマ室外形状、あるいはイオン引き出し電極形状またはプラズマ源形状を多角形状とした粒子線照射装置。

IPC (6件)：

H01J 37/317 , C23C 14/48 , H01J 27/08 , H01J 27/18 , H01J 37/08 , H05H 1/46

FI (6件)：

H01J 37/317 Z , C23C 14/48 Z , H01J 27/08 , H01J 27/18 , H01J 37/08 , H05H 1/46 A

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭63-279552
特開平4-282549
特開平1-296600

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審査官引用 (2件)

特開昭63-279552
特開平4-282549

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