特許

J-GLOBAL ID：200903039438292100

表面物性評価装置および表面物性評価装置の試料位置補正方法

発明者： 道本 隆裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-354294
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178636
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 大がかりな微動装置を用いることなく、試料の圧痕位置を観察手段の視野内の所望位置に自動的に位置させる。【解決手段】 1度目の押し込み試験として、スライドステージ11を作動し、水平ステージ10を圧子2直下の押し込み位置に位置させ、圧子2を試料1の表面に圧痕を形成し、水平ステージ10を顕微鏡4直下の観察位置に位置させる。顕微鏡視野中心軸と圧痕位置とがずれている場合、顕微鏡4を見ながら水平ステージ10を作動して両者を一致させる。この移動量に基づいた補正移動量がメモリ8に記憶される。2度目以降の押し込み試験では、水平ステージ10を押し込み位置に位置させる際に水平ステージ10を作動して試料1を前記補正移動量の負の量だけ移動させ、圧痕形成後に水平ステージ10を観察位置に戻す際に水平ステージ10を作動して試料1を前記補正移動量の正の量だけ移動させる。

請求項（抜粋）：

試料の表面に押し込まれる圧子と該圧子に所定の荷重を加える荷重負荷部を有した表面物性評価部と、前記試料の表面を観察する試料観察部と、前記試料を載置するステージと、前記ステージを前記試料の表面と略平行な所定の面内で2次元に移動させるステージ移動部材と、前記表面物性評価部と前記試料観察部との間で前記ステージをある軌道上で搬送する搬送部と、前記試料を前記圧子による前記試料表面への押し込み可能な位置を第1の位置、前記試料観察部による前記試料の表面の観察可能な位置を第2の位置とし、前記第1の位置で前記圧子が押し込まれて前記試料の表面に圧痕が形成され、前記搬送部によって前記第2の位置に移動された前記試料の圧痕の位置と、基準位置との偏差量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定した偏差量を補正移動量とし、前記補正移動量に応じて前記ステージ移動部材の駆動量を制御し、前記圧痕が前記試料観察部の視野内の所望の位置になるように補正するステージ移動部材制御手段とを有することを特徴とする表面物性評価装置。