膜厚むら検査装置、膜厚むら検査方法および膜厚むら検査プログラム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-364482
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166941
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】生産工程中の薄膜の膜厚管理を行う際に、オンラインで全面を高精度に測定可能な膜厚むら測定装置、膜厚むら測定方法および膜厚むら測定プログラムを提供すること。【解決手段】試料を撮像してRGBの各信号を取得(S201)し、膜幅方向の画素毎にR信号とB信号のレベル差を求める(S203)。次いで、搬送方向に射影演算(S205)を行った後、射影演算値の移動平均値を求める(S207)。次に、膜幅方向に微分(S209)を行い、所定区間における微分値の最大値と最小値の差を演算(S211)して得られた値に基づいて、膜厚むらの有無を判定(S213)する。最後に、測定が試料の全面で行われたか否かを判定(S215)して、全面測定されるまで上記ステップを続ける。

請求項（抜粋）：

薄膜に光を照射し、前記薄膜からの反射光に基づいて膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、前記薄膜に光を照射することによって得られた反射光のうち、1以上の光波長域からなる第1の色信号と、前記第1の色信号に含まれない光波長域からなる第2の色信号とを画素毎に取得する色信号取得手段と、薄膜上における第1方向の画素毎に、前記第1の色信号と前記第2の色信号のレベル差を計算する色信号レベル差計算手段と、前記第1方向の所定長さ分の前記色信号レベル差計算手段で得られた前記色信号のレベル差を画素毎に累積した射影演算値を求める射影演算手段と、前記射影演算手段で得られた射影演算値を前記第1方向に微分する微分演算手段と、前記微分演算手段で得られた微分値の前記第1方向と直交する第2方向の所定区間における最大値から最小値を差し引いた微分値差を計算する微分値差計算手段と、前記微分値差計算手段で得られた微分値差を所定のしきい値と比較した結果に基づいて、前記薄膜における膜厚むらの有無を判定する膜厚むら判定手段と、を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/892 , G06T 1/00 300 , G01B 11/06

FI (3件)：

G01N 21/892 A , G06T 1/00 300 , G01B 11/06 H

Fターム (44件)：

2F065AA30 , 2F065BB15 , 2F065BB17 , 2F065CC02 , 2F065CC25 , 2F065CC31 , 2F065DD04 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065GG03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065QQ08 , 2F065QQ13 , 2F065QQ15 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2G051AA41 , 2G051AB20 , 2G051BA08 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA14 , 2G051EA17 , 2G051EA25 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC03 , 2G051EC06 , 2G051ED07 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5B057DC19 , 5B057DC25

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