特許

J-GLOBAL ID：200903039443760643

高温雰囲気室監視装置およびその制御方法

発明者： 大島 英紀 ,  武藤 達家 ,  清水 文彦 ,  渡辺 義則 ,  浅尾 晴彦
出願人/特許権者： 小名浜製錬株式会社 ,  三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349616
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201268
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】 高温雰囲気室の内部状況の監視を行う監視装置の機能低下を防止することを目的とする。【構成】 先端に集光部を備えかつ後端に検出器が連設された光伝送チューブと、第1の送気用気体の流路を形成するインナーチューブと、インナーチューブを取り囲んで設けられた冷却液循環路と、冷却液循環路との間に第2の掃気用気体の流路を形成するアウターチューブと、検出器が収容されるとともに、外周部に冷却液循環路が形成された保護箱と、高温雰囲気室内の温度および圧力を検出する温度センサーおよび圧力センサーと、両掃気用気体あるいは冷却液の供給量を調整する制御ユニットとを備えてなり、インナーチューブの先端部には、掃気用気体を光伝送チューブの先端面へ向けて屈曲させる偏向板が設けられ、アウターチューブの先端部は、インナーチューブの先端部よりも前方に突出して設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

高温雰囲気室に装着されて、その内部の状況を監視する高温雰囲気室監視装置であって、先端に集光部を備えかつ後端に検出器が連設された光伝送チューブと、この光伝送チューブが着脱可能に篏挿され、この光伝送チューブとの間に第1の掃気用気体の流路を形成するインナーチューブと、このインナーチューブを取り囲んで設けられた冷却液循環路と、この冷却液循環路を取り囲んで設けられ、この冷却液循環路との間に第2の掃気用気体の流路を形成するとともに、前記高温雰囲気室の壁面に貫通して装着されるアウターチューブと、前記検出器が収容されるとともに、外周部に冷却液循環路が形成された保護箱と、前記高温雰囲気室内の温度および圧力を検出する温度センサーおよび圧力センサーと、これらの温度センサーおよび圧力センサーからの検出信号に基づき、前記両掃気用気体あるいは冷却液の供給量を調整する制御ユニットとを備えてなり、前記インナーチューブの先端部には、前記掃気用気体を前記光伝送チューブの先端面へ向けて屈曲させる偏向板が設けられ、前記アウターチューブの先端部は、前記インナーチューブの先端部よりも前方に突出して設けられていることを特徴とする高温雰囲気室監視装置。

IPC (3件)：

F27B 3/28 ,  F23G 5/50 ZAB ,  F23G 5/50

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-029721
  
• 特開昭62-036526