特許

J-GLOBAL ID：200903039445901988

結晶性薄膜用電極

発明者： 鮫島 克己
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069659
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283706
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 基板表面に損傷を与えることなく、配向性の高い結晶性薄膜を形成する。【構成】 下部電極13は、タンタル層11、チタン層12および白金層6から構成されており、下部電極13の上にPZT薄膜8が設けられている。下部電極13にチタン層12が設けられていることから、PZT薄膜8の結晶性をよくすることができる。したがって、白金層6を形成する際、熱処理が不要となるので、リフトオフ法を用いることができる。

請求項（抜粋）：

タンタルで構成された第1層、前記第1層の上にチタンで構成された第2層、前記第2層の上に白金で構成された層であって、この層の上には、複合酸化物の結晶性薄膜が形成される第3層、を備えたことを特徴とする結晶性薄膜用電極。