特許

J-GLOBAL ID：200903039454309820

変位情報検出装置及びこれを用いたドライブ制御装置及びスケール装置

発明者： 石塚 公
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-075790
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271287
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 異なる検出原理に基づく光学系を併設した装置において、検出制度を劣化させないで小型化ができる変位情報検出装置と、これを用いたドライブ制御装置及びこのような変位情報検出装置に適当なスケール装置を提供することを目的とする。【構成】 スケール部材Dに設けられた回折格子GTに光束照射を行って発生させた回折光の干渉の情報を検出して前記スケール部材Dの回転情報を検出する装置で、前記スケール部材Dの回転情報を検出するべくデータ記録部Z1,Z2,U,V,Wからの光を検出する構成を別設し、前記スケール部材D上の回折格子GTとデータ記録部Z1,Z2,U,V,Wとを異なる製法にて形成している。

請求項（抜粋）：

相対回転を検出するためのスケール部材に設けられた回折格子に光束照射を行って発生させた回折光を干渉させ、該干渉の情報を検出して前記スケール部材の回転情報を検出する装置であって、前記回折格子と回転情報を記録したデータ記録部とを設けたスケール手段と、前記スケール部材の回転情報を検出するべく前記回折格子からの回折光を干渉させて検出する第1検出手段と、前記スケール部材の回転情報を検出するべく前記データ記録部からの光を検出する第2検出手段とを有し、前記スケール上の回折格子とデータ記録部とが異なる製法にて形成されていることを特徴とする変位情報検出装置。

IPC (7件)：

G01D 5/38 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G01D 5/36 ,  G11B 7/00 ,  G11B 19/06 501 ,  G11B 19/20

FI (7件)：

G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 G ,  G01B 11/26 G ,  G01D 5/36 B ,  G11B 7/00 R ,  G11B 19/06 501 E ,  G11B 19/20 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-117214
  
• 回転角検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-189870   出願人：第一電工株式会社
• 特開昭63-117214