特許

J-GLOBAL ID：200903039456662390

カラーフィルターの検査装置

発明者： 渡辺 卓司 ,  湯本 啓介 ,  曽根原 章夫
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205259
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031110
出願日： 1996年07月16日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光を用いたカラーフィルター表面の突起状異物の検査装置において、基板表面の色、状態により、異物検出精度が異なっていた。【解決手段】 レーザ光とは別に多色スペクトルを含む光源を使用することにより、安定した反射光を得ることができ、更に、光源光の調節機構、センサの切り替え機構の採用により、突起検出精度の向上が図ることが出来る。

請求項（抜粋）：

光を照射して、その反射光で異物を計測するカラーフィルターの表面検査装置において、少なくとも光源に多色スペクトルを含む光で異物に照射し、該異物の反射光を検知せしめ、該異物の位置座標を検知することを特徴とするカラーフィルターの検査装置。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G01M 11/00 T