特許
J-GLOBAL ID：200903039462389930
メサ型集積素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-273210
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082500
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 メサ型素子を集積したデバイスの製造におけるプロセスの一つとして、攪拌溶液にウエハを浸して行なうプロセスがある。その際1つのチップの外周に位置する素子は攪拌溶液の流れがまともにあたり、エッチング時にはエッチングむらが生じるなど、ウエハ内での均一なプロセスが困難であった。本発明の目的は、部分的に流速の異なるような攪拌溶液中でも均一なプロセスを行うことである。【構成】 メサを形成する際にチップの外側に三角形等の形状の障壁用メサを同時に形成された構造を有するメサ型集積素子。【効果】 障壁メサの存在により攪拌溶液の流れが分散され、外側のメサに液が直接当たることがなくなり、均一なプロセスが可能になり、デバイスの均一性、歩留まりが向上する。
請求項（抜粋）：
基板上に多数のメサ型素子を所定の領域に集積してなるメサ型集積素子において、前記所定領域の周縁に近接して多数の障壁メサが設けてあり、該障壁メサは前記素子と同形、該素子の一辺と同程度の辺を有する三角形、その他の平面形をなすことを特徴とするメサ型集積素子。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, H01L 27/15
, H01L 33/00
