特許
J-GLOBAL ID：200903039472224009
液晶表示装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043486
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 薄膜トランジスタのドレイン領域と液晶用画素電極とのコンタクト抵抗を低減し、かつ液晶の配向の均一な液晶表示装置を得ることを目的とする。【構成】石英基板1に形成した多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタのドレイン領域2d上にドレインコンタクトとして金属シリサイド薄膜9を形成したのち、この金属シリサイド薄膜9を介してITO薄膜からなる画素電極10を形成し、ドレイン領域近傍の段差を減少して液晶の配向を均一にする。
請求項（抜粋）：
透光性の絶縁基板上にシリコンを主成分とする半導体薄膜からなる薄膜トランジスタを構成要素として形成した液晶表示用画素において、前記薄膜トランジスタのドレイン領域とその上に設けた導電性酸化物薄膜よりなる画素電極との電気的接続において、金属シリサイド薄膜を介在させることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/40
, H01L 29/784
