特許
J-GLOBAL ID：200903039475505610
非球面波発生レンズ系組立調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-274334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088513
出願日： 1998年09月10日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】非球面波を発生させるレンズ系を高精度に組立調整することができる非球面波発生レンズ系組立調整装置を提供する。【解決手段】光源1から射出した光Lを測定光LMと参照光とに分割し、測定光LMの光路に被検非球面波発生レンズ系6と回折光学素子7Rとを配置し、測定光LMが被検非球面波発生レンズ系6及び回折光学素子7Rを往復通過した後に参照光と干渉するように干渉計を構成し、被検非球面波発生レンズ系6が設計形状のときに、被検非球面波発生レンズ系6及び回折光学素子7Rを復路で射出する測定光LMが被検非球面波発生レンズ系6及び回折光学素子7Rに往路で入射する測定光LMと同一形状の平面波又は球面波となるように、回折光学素子7Rを形成し、干渉計からの干渉信号をヌル化するように被検非球面波発生レンズ系6の組立調整を行う。
請求項（抜粋）：
光源から射出した光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光の光路に被検非球面波発生レンズ系と回折光学素子とを配置し、前記測定光が前記被検非球面波発生レンズ系及び回折光学素子を往復通過した後に前記参照光と干渉するように干渉計を構成し、前記被検非球面波発生レンズ系が設計形状のときに、前記被検非球面波発生レンズ系及び回折光学素子を復路で射出する前記測定光が前記被検非球面波発生レンズ系及び回折光学素子に往路で入射する測定光と同一形状の平面波又は球面波となるように、前記回折光学素子を形成し、前記干渉計からの干渉信号をヌル化するように前記被検非球面波発生レンズ系の組立調整を行うことを特徴とする非球面波発生レンズ系組立調整装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
2F064EE02
, 2F064EE05
, 2F064GG12
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG49
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA53
, 2F065CC00
, 2F065CC22
, 2F065FF48
, 2F065FF52
, 2F065JJ03
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL09
, 2F065LL12
, 2F065LL19
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL42
