特許

J-GLOBAL ID：200903039475678329

分光器

発明者： 原田 洋一
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020408
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229828
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【構成】 副波長分散素子として平面回折格子を用い、主波長分散素子と駆動軸回りに適当な角度をなすように固定し、波長幅の狭い光源からの光を副波長分散素子に入射させて、その回折光を用いて主波長分散素子の駆動位置を検知する分光器。【効果】 主波長分散素子が 0〜90度の間で用いられるときに、副波長分散素子の回折角はおおよそ±45度以内になる。この範囲内では角分散があまり変化しないので、回折光の間隔はあまり変化しない。このため、副検出器の幅を常に一つ以上の回折光を入射させながら、位置検知精度を上げるために最適の条件に設定することができる。

請求項（抜粋）：

入射スリットと、主波長分散素子と、出射スリットと、分光された光を検出する主検出器と、主波長分散素子を駆動する駆動部と、駆動部を制御する制御部と、波長幅の狭い光を発生する光源と、主波長分散素子と固定して駆動される副波長分散素子と、副波長分散素子からの回折光を検出する列状に並んだ複数の検出素子を有する副検出器とからなる分光器に於て、副波長分散素子として平面回折格子を用いると共に、主波長分散素子と副波長分散素子とが、駆動軸回りに角度を持って固定されることを特徴とする分光器。

IPC (2件)：

G01J 3/18 ,  G01J 3/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-049127
  
• 特開昭58-131521
  
• 特開平2-061528