特許

J-GLOBAL ID：200903039489925183

半田バンプ形成方法および半田バンプ形成装置

発明者： 飯塚 晋一郎 ,  福岡 敏
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264359
公開番号（公開出願番号）：特開平10-224023
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 微少な半田バンプを効率良く形成でき、移動が容易で、半田バンプの修正にも利用できる半田バンプ形成方法および半田バンプ形成装置を提供する。【解決手段】 光加熱源2、端面1cが光加熱源2に光学的に結合され、端面1bに半田が付着される光ファイバ1、および光ファイバ1の端面1bを基板4に対して相対的に移動させるガイド機構3を有する半田バンプ形成装置を用い、光ファイバ1の端面1cから加熱光を導入し、光ファイバ1の端面1bから半田に照射して溶融し、基板4上に半田バンプを形成する。

請求項（抜粋）：

光導波部材(1)の一端面(1c)から加熱光を導入し、該加熱光を前記光導波部材の他端面(1b)から半田(6a)に照射して溶融し、基板(4)上に半田バンプ(6b)を形成する半田バンプ形成方法。

IPC (3件)：

H05K 3/34 505 ,  B23K 1/005 ,  H01L 21/321

FI (3件)：

H05K 3/34 505 A ,  B23K 1/005 D ,  H01L 21/92 604 A