アライメントシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡部敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-251500
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097129
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】撮像素子の性能やアライメントマークの面積を変更することなく、位置決め精度を向上させる。【構成】位置決め対象物に付されるアライメントマークSの形状を四角形とし、撮像素子の格子状の画素Pに対して相対的に所定角度だけ回転させる。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物に付されたアライメントマークを撮像素子により読取って位置決めを行う際にアライメントマークの重心位置を求めてアライメントを行うアライメントシステムにおいて、前記アライメントマークの形状を四角形とし、前記撮像素子の格子状の画素に対して相対的に所定角度だけ回転させたことを特徴とするアライメントシステム。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/68 , G06T 7/00

FI (2件)：

H01L 21/30 525 D , G06F 15/62 405 C

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