特許
J-GLOBAL ID：200903039496187635
スライシング用研磨液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131717
公開番号（公開出願番号）：特開平10-306275
出願日： 1997年05月06日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 磁性材料等のスライシングを簡単かつ短時間で円滑に、しかも安全かつ安価に行うことができ、磁性材料、半導体、結晶材料、硬質材料等をスライシングする際にブレードやワイヤーに付着させて好適に用いることができるスライシング用研磨液組成物を得る。【解決手段】 鉱油及び/又は植物油20〜60重量部を水40〜80重量部に界面活性剤の存在下に乳化させた分散媒体100重量部に、平均粒径が1.2〜60μmの研磨微粉30〜150重量部を混合・分散したことを特徴とするスライシング用研磨液組成物。
請求項（抜粋）：
鉱油及び/又は植物油20〜60重量部を水40〜80重量部に界面活性剤の存在下に乳化させた分散媒体100重量部に、平均粒径が1.2〜60μmの研磨微粉30〜150重量部を混合・分散したことを特徴とするスライシング用研磨液組成物。
IPC (3件)：
C09K 3/14 550
, H01L 21/304 311
, H01L 21/304
C09K 3/14 550 Z
, H01L 21/304 311 W
, H01L 21/304 311 S
