特許
J-GLOBAL ID:200903039504673757
X線回折装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-224019
公開番号(公開出願番号):特開平6-066741
出願日: 1992年08月24日
公開日(公表日): 1994年03月11日
要約:
【要約】【目的】 X線の入出射角の調整機能等における自由度が非常に高く、多様な回折測定に利用し得るX線回折装置を提供すること。【構成】 試料11を回転操作する試料回転装置6と、X線検出器5を回転操作するX線検出器回転装置7と、X線発生装置3を回転操作するX線源回転装置8と、これらの回転装置6,7,8における回転量を個別に操作し得る制御装置10とを装備する。そして、各回転装置6,7,8は、いずれもウォームホィールを用いた回転機構6d,7d,8dで所定の回転量を得る構造とし、また、各回転装置6,7,8の回転中心を互いに同心に揃えた構成とする。
請求項(抜粋):
試料を、ウォームとウォームホィールとの組み合わせによる回転機構によって回転操作する試料回転装置と、試料からの回折X線を検出するX線検出器を、ウォームとウォームホィールとの組み合わせによる回転機構によって、前記試料回転装置による試料の回転中心の回りに回転操作するX線検出器回転装置と、前記試料に入射X線を照射するX線発生装置を、ウォームとウォームホィールとの組み合わせによる回転機構によって、前記試料回転装置による試料の回転中心の回りに回転操作するX線源回転装置と、これらの各装置における回転機構のウォームホィールの回転量を個別に制御し得る制御装置とが備えられ、前記試料回転装置およびX線検出器回転装置およびX線源回転装置のウォームホィールが、いずれも互いに同心に配備されたことを特徴としたX線回折装置。
引用特許:
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