特許
J-GLOBAL ID：200903039511433290
形状計測方法、形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-160682
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350114
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：
【要約】【課題】 移送される被計測体の表面の微小な形状変動を高精度に検出できるようにする。【解決手段】 移送される被計測体の幅方向に沿って定めた複数の計測点の位置を計測することによって上記被計測体の歪みを計測する際に、上記被計測体の一側方向の斜め上方位置から、上記被計測体の幅方向に向けて所定の入射角度で複数の点状光を照射するとともに、上記被計測体の表面で反射した上記複数の点状光を上記被計測体の他側方向の斜め上方位置で受光して、上記複数の点状光の受光状態に基づいて上記被計測体の歪みを計測することにより、被計測体の歪を拡大させて検出できるようにする。
請求項（抜粋）：
移送される被計測体の幅方向に沿って定めた複数の計測点の位置を計測することによって上記被計測体の歪みを計測する形状計測方法において、上記被計測体の一側方向の斜め上方位置から、上記被計測体の幅方向に向けて所定の入射角度で複数の点状光を照射するとともに、上記被計測体の表面で反射した上記複数の点状光を上記被計測体の他側方向の斜め上方位置で受光して、上記複数の点状光の受光状態に基づいて上記被計測体の歪みを計測することを特徴とする形状計測方法。
Fターム (12件)：
2F065AA65
, 2F065BB01
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065DD03
, 2F065FF43
, 2F065GG14
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
