特許
J-GLOBAL ID：200903039518565213
乾式流動バレル研磨法及び研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名嶋 明郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-206767
公開番号（公開出願番号）：特開平10-044020
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】 扁平薄板状のワークが研磨中に付着重合する現象を防止して研磨ムラが生ずることのない乾式流動バレル研磨法及び研磨装置を提供する。【解決手段】 研磨槽内に多数のワークを、プラスチックメディアと、研磨工程中にワーク相互間に介在されてワーク同志が付着重合することを防止する球状体とともに装入し、これを研磨槽内において旋回流動させてワーク研磨を行う。
請求項（抜粋）：
研磨槽内に多数のワークを、プラスチックメディアと、研磨工程中にワーク相互間に介在されてワーク同志が付着重合することを防止する球状体とともに装入し、これを研磨層内で旋回流動させてワーク研磨を行うことを特徴とする乾式流動バレル研磨法。
引用特許：
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