特許
J-GLOBAL ID:200903039519894865

ボンディングワイヤー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山野 宏 ,  青木 秀實
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-239967
公開番号(公開出願番号):特開2004-064033
出願日: 2002年08月20日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
【課題】ボール形成性および接合性に優れる安価なボンディングワイヤーを提供する。【解決手段】銅を含む芯材と、芯材上に形成された被覆層とを有するボンディングワイヤーである。この被覆層は銅よりも高融点の金属または耐酸化性の金属であり、このボンディングワイヤーの単位断面積当たりの伸びが0.021%/μm2以上である。芯材と被覆層の材質を上記のように限定し、さらに伸びを特定することで、溶融時に安定して真円に近いボール、特に小径のボールを形成することができ、高い信頼性の接合を行うことができる。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
銅を含む芯材と、芯材上に形成された被覆層とを有するボンディングワイヤーであって、 前記被覆層は銅よりも高融点の耐酸化性の金属であり、 このボンディングワイヤーの単位断面積当たりの伸びが0.021%/μm2以上であることを特徴とするボンディングワイヤー。
IPC (1件):
H01L21/60
FI (1件):
H01L21/60 301F
Fターム (3件):
5F044FF02 ,  5F044FF06 ,  5F044FF10

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