特許

J-GLOBAL ID：200903039521260938

磁気シール装置

発明者： 田村 栄一郎 ,  北田 昌剋
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-337577
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169789
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 高温の活性ガス雰囲気下に置かれる処理室に付設される磁気シール装置の寿命を長くすること及び処理室のベーキング処理時にその処理室から取り外す必要のない磁気シール装置を提供する。【解決手段】 磁性材料によって形成された回転軸6のまわりに配置される複数のポールピース7a,7b,7cと、各ポールピースと回転軸6との間に磁気通路を形成する複数の磁石8と、各ポールピースと回転軸6との間に充填された磁性流体5とを有する磁気シール装置である。回転軸6を本体部分6a及び先端部分6bの2つの部分で構成し、そして、それらの各部を点接触又は線接触で接触させた状態で互いに結合する。点接触等の部分の熱抵抗が大きくなって回転軸6の軸方向に温度勾配が発生し、先端部分6bが高温でも本体部分6aは低温に維持できる。

請求項（抜粋）：

磁性材料によって形成された運動軸のまわりに配置される複数のポールピースと、各ポールピースと運動軸との間に磁気通路を形成する複数の磁石と、各ポールピースと運動軸との間に充填された磁性流体とを有する磁気シール装置において、上記運動軸は、加熱されたときに軸方向に温度勾配を生じることを特徴とする磁気シール装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-160671
  
• 特開昭61-160671