特許
J-GLOBAL ID:200903039523975780
水中の表面検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-038812
公開番号(公開出願番号):特開平10-239286
出願日: 1997年02月24日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】水中だけの検査作業を可能とし、超音波探触子を検査表面に追従させて表面欠陥を高精度で検査できる装置を提供する。【解決手段】超音波ビームを水中で検査表面に送受信する高共振周波数,ビーム集束型の超音波探触子の選定39,40と、超音波探触子39,40のビーム行程と入射角度の最適設定と、超音波探触子39,40を検査表面に追従走査する複数の駆動制御機構を備えた表面検査装置16と、表面検査装置16を容器1の径方向と上下方向に駆動,保持する駆動制御機構10,11と、超音波の送受信検出部とからなる水中の表面検査装置。
請求項(抜粋):
水中で超音波探触子を被検査体表面に沿って走査して表面欠陥を検査する装置において、超音波ビームの集束が可能なビーム焦点型の超音波探触子と、上記超音波探触子を上記被検査体表面の垂直線に対して20deg から50deg の範囲の角度で取り付けかつ被検査体表面にビームが集束するように取り付けるガイドと、上記超音波探触子を被検査体表面に沿って超音波のビーム行程と入射角度を所定の値に維持して走査する手段と、超音波信号を送信,受信する検出部と、受信信号から表面欠陥を判定する処理部とからなることを特徴とする水中の表面検査装置。
IPC (2件):
G01N 29/04 503
, G01N 29/26 501
FI (2件):
G01N 29/04 503
, G01N 29/26 501
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