特許
J-GLOBAL ID:200903039532216310
波長可変半導体レーザの検査方法及び検査装置、コヒーレント光源の検査方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-095731
公開番号(公開出願番号):特開2002-296147
出願日: 2001年03月29日
公開日(公表日): 2002年10月09日
要約:
【要約】【課題】 波長可変半導体レーザの波長可変特性を簡便でかつ高速に評価する方法を提供する。【解決手段】 活性領域と位相調整領域とDBR領域から構成される波長可変半導体レーザ1に電流を供給する電源と、半導体レーザの出力強度を検出する受光素子3と、受光素子までの光路上に挿入可能な透過型波長選択素子6から構成される検査装置であり、活性領域に一定の活性電流を注入し、半導体レーザから受光素子までの光路上に透過型波長選択素子を挿入した状態で、位相調整領域に注入する位相電流とDBR領域に注入するDBR電流の少なくとも一方を変化させ、透過型波長選択素子後の半導体レーザ光の出力強度を受光素子により検出し、出力強度の変化点に対応する位相電流及びDBR電流を求め、波長可変DBR半導体レーザの波長可変の安定性などを簡単でかつ高速に検査することができる。
請求項(抜粋):
活性領域と位相調整領域と分布ブラッグ反射(DBR)領域を有する半導体レーザの検査装置であって、前記活性領域と前記位相調整領域と前記DBR領域に電流を供給する電源と、前記半導体レーザから出射される光の出力強度を検出するための受光素子と、前記半導体レーザから前記受光素子までの光路上に挿入可能な透過型波長選択素子から構成されていることを特徴とする波長可変半導体レーザの検査装置。
IPC (6件):
G01M 11/00
, G01J 1/00
, G02F 1/37
, H01S 5/00
, H01S 5/125
, G01J 9/00
FI (6件):
G01M 11/00 T
, G01J 1/00 C
, G02F 1/37
, H01S 5/00
, H01S 5/125
, G01J 9/00
Fターム (24件):
2G065AB02
, 2G065AB04
, 2G065AB09
, 2G065BA02
, 2G065BB27
, 2G065BC28
, 2G065BC33
, 2G065BC35
, 2G065DA05
, 2G065DA13
, 2G086EE03
, 2K002AA04
, 2K002AB12
, 2K002DA01
, 2K002GA04
, 2K002HA20
, 5F073AA65
, 5F073AB27
, 5F073BA01
, 5F073EA02
, 5F073FA01
, 5F073HA04
, 5F073HA08
, 5F073HA11
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