特許
J-GLOBAL ID:200903039537976356

電子ビーム照射方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 重文 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-137126
公開番号(公開出願番号):特開平5-334985
出願日: 1992年05月28日
公開日(公表日): 1993年12月17日
要約:
【要約】【目的】 1個の電子ビーム照射装置により被照射物の表裏面を同時に照射可能とした。【構成】 電子ビーム照射装置1を、1個のカソード用ヒータ2と、該カソード用ヒータ2を挾んで設置される1対のカソード3,3と該カソード3,3に対応して設置される1対の電子ビーム取出し窓4,4と、該電子ビーム取出し窓4,4間に配され且つ前記カソード用ヒータ2の電源5と共通する電子ビーム加速用電源6とから構成させる。この電子ビーム照射装置1をその電子ビーム取出し窓4,4に対向して被照射物8で半円周程とり囲み、且つその半円周間の間に被照射物8を長手方向に180°捩って配置し、該被照射物8の表裏面を前記電子ビーム照射装置1により同時に照射したことを特徴としている。
請求項(抜粋):
1個のカソード用ヒータと、該カソード用ヒータを挾んで設置される1対のカソードと該カソードに対応して設置される1対の電子ビーム取出し窓と、該電子ビーム取出し窓間に配され且つ前記カソード用ヒータの電源と共通する電子ビーム加速用電源とを有する電子ビーム照射装置を、前記1対の電子ビーム取出し窓に対向して被照射物で半円周間程とり囲み、且つその半円周間の間に被照射物を長手方向に180°捩って配置し、該被照射物の表裏面を前記電子ビーム照射装置により同時に照射することを特徴とする電子ビーム照射方法。
IPC (2件):
H01J 37/30 ,  G21K 5/10

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