特許

J-GLOBAL ID：200903039541076688

XYテーブル装置

発明者： 藤村 毅直 ,  舟窪 朋樹 ,  津幡 敏晴
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358403
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184165
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 XYテーブル装置のストロークの増大と高精度制御を可能とする。【構成】 直交する3方向に圧電素子を有し電圧印加により自由端12側がX-Z方向およびY-Z方向に楕円振動する2次元駆動振動子1と、2次元駆動振動子1の自由端に当接してXY方向に移動するスライダ2と、ボール形状のガイド部材3を介してスライダ2上に設けたステージ4と、ステージ4を介してスライダ2を2次元駆動振動子1の自由端に押圧する押圧機構5とを備える。電圧印加による2次元駆動振動子1の楕円振動でスライダ2がXY方向に移動するためストロークが大きくなり、高精度の制御ができる。

請求項（抜粋）：

直交する3方向に圧電素子が配設され電圧印加により自由端側がX-Y方向に楕円振動する2次元駆動振動子と、この2次元駆動振動子の自由端側に設けられ2次元駆動振動子の楕円振動によりX-Y方向に移動するスライダと、このスライダを2次元駆動振動子の自由端に押圧する押圧手段と、ガイド部材を介して前記スライダに取り付けられスライダの移動によりX-Y方向に移動するステージとを備えていることを特徴とするXYテーブル装置。