特許

J-GLOBAL ID：200903039545423390

シリコン溶融用ルツボとその製造方法

発明者： 脇田 三郎 ,  佐々木 順一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147294
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335998
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】 シリコン溶融用ルツボとそれを嵌合するカーボンルツボとの反応による一酸化炭素ガスの発生を低減する。【解決手段】 石英ルツボ部4の外面にシリカ粉末を混合したスラリーを付着した後、該スラリー層表面にシリカ砂7を散布してスタッコ層3を形成する操作を任意回数繰り返して、前記スラリー層と前記スタッコ層3とを交互に積層した後、そのルツボを焼成したシリコン溶融用ルツボ1を使用する。

請求項（抜粋）：

シリコン溶融用ルツボの製造方法において、石英ルツボの外面にシリカ粉末を混合したスラリーを付着した後、該スラリー層表面にシリカ砂を散布してスタッコ層を形成する操作を任意回数繰り返して、前記スラリー層と前記スタッコ層とを交互に積層した後、そのルツボを焼成することを特徴とするシリコン溶融用ルツボの製造方法。

IPC (3件)：

C30B 29/06 502 ,  C30B 15/10 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 29/06 502 B ,  C30B 15/10 ,  H01L 21/208 P

Fターム (16件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077PD05 ,  5F053AA12 ,  5F053AA13 ,  5F053BB04 ,  5F053BB08 ,  5F053BB12 ,  5F053BB13 ,  5F053BB14 ,  5F053DD01 ,  5F053FF04 ,  5F053RR03 ,  5F053RR20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 単結晶引き上げ用石英るつぼ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-107530   出願人：信越半導体株式会社, 信越石英株式会社
• シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-093861   出願人：信越石英株式会社
• 特開昭63-252993
  
• シリコン溶融用ルツボとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-147293   出願人：三菱マテリアル株式会社