特許

J-GLOBAL ID：200903039558021720

荷電粒子ビーム装置の試料走査機構

発明者： 中川 清一 ,  松本 貞夫 ,  岡崎 秀則
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060144
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260375
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 試料の高精度な位置決め、滑らかな走査が可能な荷電粒子ビーム装置の試料走査機構を提供することを目的とする。【解決手段】 試料3が載置された試料ステージ5を案内手段21を用いて直交する二つの方向に移動させ、荷電粒子ビーム鏡筒7からの荷電粒子ビームを試料3上で走査させる荷電粒子ビーム装置の試料走査機構であって、案内手段21に油圧式静圧軸受を設ける。

請求項（抜粋）：

試料が載置された試料ステージを案内手段を用いて直交する二つの方向に移動させ、荷電粒子ビーム鏡筒からの荷電粒子ビームを前記試料上で走査させる荷電粒子ビーム装置の試料走査機構であって、前記案内手段に油圧式静圧軸受を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の試料走査機構。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/20 A ,  H01L 21/68 K

Fターム (8件)：

5C001AA03 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC06 ,  5F031HA57 ,  5F031KA06 ,  5F031LA01 ,  5F031MA27