特許

J-GLOBAL ID：200903039561621429

液晶表示装置用パターンレイアウト装置

発明者： 中里 雅弘 ,  伊月 義治 ,  高橋 康二 ,  樫本 登
出願人/特許権者： 東芝電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-038116
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232377
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 設計精度の向上、設計期間の短縮、誤りの低減を図った液晶表示装置用パターンレイアウト装置を提供する。【解決手段】 レチクルを設計する際に必要な設計仕様を、CADシステムを構成するコンピュータに入力する。CADシステムは、予め設定されているパターンデータを用い、入力された設計仕様に基づいて詳細なアレイ基板全体パターンを作成する。このアレイ基板全体パターンと入力した設計仕様とから、レチクル分割ラインを設定する。アレイ基板全体パターンと分割ラインとの関係を判定し、必要であれば分割ラインの再設定やアレイ基板全体パターンを修正する分割ラインがアレイ基板全体パターンのどの箇所を通っているかを判定する。分割ラインに問題がなくなれば、レチクルパターンを切り出し、レチクルパターンの多重露光エリアへのパターン処理を同時にする分割された各レチクルを保存する。

請求項（抜粋）：

液晶表示装置のパターンを設計する液晶表示用パターンレイアウト装置において、液晶表示装置の基板のパターンに関する設計仕様が入力されることにより、基板全体のパターンを作成し、この全体のパターン上に分割ラインを設定し、この分割ラインに従って全体のパターンを分割して複数のレチクルを作成するCADシステムと、このCADシステムによって分割された各レチクルを電子情報として保存する保存手段と、前記基板のパターンおよび分割ラインを同時に表示する表示手段とを具備したことを特徴とする液晶表示装置用パターンレイアウト装置。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G06F 17/50

FI (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G06F 15/60 658 Z ,  G06F 15/60 680 Z