特許

J-GLOBAL ID：200903039562806902

紫外レーザ光用中空導波管

発明者： 木下 和夫
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-024415
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188225
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】細径で紫外光を有効に伝送させることができる紫外レーザ光用中空導波管を提供すること。【構成】 紫外光に対して高透過率の合成石英等のガラス材からなる中空ガラス管3の外側に紫外光を有効に透過し得る樹脂膜層2を形成し、さらに該樹脂膜層2の外側に紫外光に対して高反射率のアルミニウム等の金属材からなる金属膜層1を形成し、ガラス管3の内表面及び樹脂膜層2と金属膜層1との境界面にて紫外域のレーザ光を反射させながら伝送させる。

請求項（抜粋）：

紫外光に対して高透過率のガラス材からなる中空ガラス管の外側に紫外光を有効に透過し得る樹脂膜層を形成し、さらに該樹脂膜層の外側に紫外光に対して高反射率の金属膜層を形成し、前記ガラス管内表面及び前記樹脂膜層と前記金属膜層との境界面にて紫外域のレーザ光を反射させながら伝送させることを特徴とする紫外レーザ光用中空導波管。

IPC (2件)：

G02B 6/02 ,  G02B 6/20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-022547
  
• 特開昭60-254620
  
• 特開平3-102850
  
• 特開昭62-131522