特許
J-GLOBAL ID：200903039569971330
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027991
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225942
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で、試料のチャージアップの影響を回避することができる走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 集束レンズ2,対物レンズ3によって集束された電子ビームEBが試料4に照射され、さらに、その試料4上の電子ビームの照射位置は、走査コイル5に走査信号を供給することによって2次元的に走査される。試料4への電子ビームの照射によって発生した2次電子は、検出器8によって検出される。検出器8の検出信号は、増幅器9によって増幅され、電子ビームEBの走査と同期した陰極線管10に輝度変調信号として供給され、陰極線管に走査電子顕微鏡像が表示される。ここで、試料4が半導体や絶縁体の場合、電子ビームEBの照射によって試料はチャージアップする。しかし、このチャージアップの影響は、試料4あるいは電極11に矩形波電圧を印加することによって著しく減少する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを試料上に細く集束するための集束レンズと、この試料上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射により発生した電子を検出する検出器と、該検出器よりの信号に基づいて試料像を表示するための表示手段と、集束レンズの試料側に配置された電極と、該電極に周期的電圧を印加するための手段とを備えた走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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