特許
J-GLOBAL ID：200903039573891642
堆積膜形成方法および堆積膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146524
公開番号（公開出願番号）：特開2001-329371
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：
【要約】【課題】 堆積膜の特性を低下させることなく、かつ、効率よく、低コストで堆積膜を形成可能な、優れた生産性を有する堆積膜の形成方法および形成装置を実現する。【解決手段】 堆積膜形成装置は、キャスター105によって移動可能に支持された反応容器支持台106に反応容器104等が取り付けられてなる可動反応容器部101と、可動反応容器部101が着脱可能に接続される排気部102と、排気部102から離脱された可動反応容器部101を反応容器振動エリア112で振動させる振動手段とから構成されている。反応容器振動エリア112で反応容器104を振動させることで、反応容器104の内面や反応容器104内の部材に付着したダストを予め離脱させてから、堆積膜を形成するための円筒状基体を投入エリア113で反応容器104内に設置することにより、その円筒状基体へのダストの付着を防止することができる。
請求項（抜粋）：
堆積膜を形成するための基体を収容した反応容器内の気体を、該反応容器に着脱可能に接続された排気手段により排気し、前記反応容器内を減圧する工程と、前記反応容器内に原料ガスを導入する工程と、前記反応容器内でプラズマを生成するための電力を印加して前記反応容器内の前記原料ガスを分解することで前記基体上に堆積膜を形成する工程とを有する堆積膜形成方法において、前記排気手段から前記反応容器を離脱させた状態で前記反応容器を振動させる工程を有することを特徴とする堆積膜形成方法。
IPC (2件)：
C23C 16/44
, G03G 5/08 360
C23C 16/44 J
, G03G 5/08 360
2H068EA24
, 2H068EA30
, 2H068EA36
, 4K030AA06
, 4K030BA30
, 4K030CA02
, 4K030CA16
, 4K030DA06
, 4K030FA03
, 4K030KA01
, 4K030LA16
, 4K030LA17
