特許

J-GLOBAL ID：200903039579005121

表面検査方法及びその装置

発明者： 松沢 聡明
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076199
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286483
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】任意の種類の周期パターンによって生じる照明光の入射面内にない任意の方向の回折光を撮像して被検体の検査を行なうこと。【解決手段】複数の回折光のうち入射面とは異なる3次元の面内にある回折光の方向を求め、この方向の回折光を撮像するために2つの光源10、11を移動して照明光の入射方向を変える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

周期パターンが形成された被検体に対して照明光を照射し、前記被検体の前記周期パターンにより生じる複数の回折光をライン状の撮像領域で撮像してその画像データから前記被検体の検査を行なう表面検査方法において、 複数の前記回折光のうち前記照明光の入射面と平行でない面内にある前記回折光を撮像するために前記照明光の入射方向又は前記被検体の撮像方向のいずれか一方又は両方を変えることを特徴とする表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N21/956 ,  H01L21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (18件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CB10 ,  2G051CD01 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051ED08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB07 ,  4M106DB30