特許
J-GLOBAL ID:200903039589145401
検査用治具
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-195782
公開番号(公開出願番号):特開2001-021498
出願日: 1999年07月09日
公開日(公表日): 2001年01月26日
要約:
【要約】【課題】 ワーク表面の検査作業を改善するとともに、ワーク表面の不良を容易かつスピーディに検査すること。【解決手段】 基台104上に回転可能に支持された回転盤106は、レバー116を矢印A方向に移動させることにより回転する。回転盤106上には、ワークの種類ごとに取替え可能な取替え治具108が固定されており、取替え治具108上のステージ110にワークが取付けられる。基台104は、レバー116を矢印B方向に移動させることにより、基台回転軸114を中心に回転する。水平照明134から照射された光は集光レンズ132で平行光となりワーク表面に照射される。集光レンズ132の高さ方向の中心は、ステージ110に取付けられたワークの表面の位置と同じ高さに調整される。
請求項(抜粋):
検査対象となるワークを保持するための保持手段と、前記保持手段で保持された前記ワークに光を照射する照明手段とを備え、前記照明手段が照射する光の進行方向と保持された前記ワークの検査面とのなす角は、0または所定の角度より小さいことを特徴とする、検査用治具。
IPC (3件):
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G02F 1/13 101
FI (3件):
G01N 21/84 D
, G01B 11/30 A
, G02F 1/13 101
Fターム (28件):
2F065AA49
, 2F065BB02
, 2F065CC25
, 2F065DD00
, 2F065DD13
, 2F065FF42
, 2F065GG02
, 2F065HH03
, 2F065HH11
, 2F065HH16
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ12
, 2F065LL04
, 2F065PP13
, 2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BA20
, 2G051BB01
, 2G051BB19
, 2G051CA11
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2H088FA11
, 2H088MA20
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