特許

J-GLOBAL ID：200903039594818651

電子線用ポジ型レジスト材料

発明者： 加藤 政雄 ,  長崎 幸夫 ,  山崎 範幸 ,  出口 憲一郎 ,  徳田 隆 ,  青木 英敏
出願人/特許権者： 北辰工業株式会社
代理人 (1件)： 庄子 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-091074
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286378
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【構成】 式(1) または式(2) で示されるアミノ基含有化合物を有効成分とするポジ型電子線レジスト用材料。【化1】【化2】[式中の置換基の説明は省略]【効果】 高感度化および高解像化が達成され、ポジ型電子線レジスト用材料として優れている。

請求項（抜粋）：

式(1) または式(2) で表されるアミノ基含有化合物を有効成分とする電子線用ポジ型レジスト材料。【化1】[式中、R1、R2、R3、R4は炭素数1から10のアルキル基、アリール基、アラルキル基を表し、同一であっても異なっていてもよい。またR5とR6は水素または炭素数1から10のアルキル基、アリール基、アラルキル基を表し、同一であっても異なっていてもよい。またR5とR6が共有結合で結合していてもよい。xは0または1の整数を示す。nは1から10,000までの整数を示す。]【化2】[式中、R7、R8は炭素数1から10のアルキル基、アリール基、アラルキル基を表し、同一であっても異なっていてもよい。またケイ素原子、スズ原子などを有する有機金属置換基であってもよい。nは1から10,000までの整数を示す。]

IPC (4件)：

G03F 7/075 511 ,  C08G 77/60 NUM ,  C08L 83/16 LRM ,  G03F 7/039 501

FI (4件)：

G03F 7/075 511 ,  C08G 77/60 NUM ,  C08L 83/16 LRM ,  G03F 7/039 501