モレキュラドラッグポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283375
公開番号（公開出願番号）：特開平8-144992
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【目的】低騒音で圧縮性能及び排気速度性能の良好なモレキュラドラッグポンプを提供する。【構成】回転円筒1と固定円筒10とを両円筒の周面が対向するよう同軸上に配置し、両円筒の対向面の少なくとも一方にねじ溝12が形成されているモレキュラドラッグポンプにおいて、回転円筒1が取り付けられる回転軸2を、軸受け3を介してハウジング11によって支持し、また、ハウジング11と一体に形成した固定円筒10を、弾性シール部材30を介してハウジング11と別体のケーシング20により支持する構成とする。

請求項（抜粋）：

回転円筒と固定円筒とを両円筒の周面が対向するよう同軸上に配置し、両円筒の対向面の少なくとも一方にねじ溝が形成されているモレキュラドラッグポンプにおいて、前記回転円筒は軸受けを介してハウジングによって支持される回転軸に取り付けられ、前記固定円筒はハウジングと一体に形成され、弾性シール部材を介してハウジングと別体のケーシングにより支持されることを特徴とするモレキュラドラッグポンプ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-216096
光磁気ディスク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-190142 出願人：ソニー株式会社

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