特許
J-GLOBAL ID：200903039595781689
磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334343
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198415
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 電磁波シールドが十分で、かつ検出感度の高い磁気式エンコーダ用の磁気センサを提供することを目的としている。【構成】 絶縁基板10上に形成した感磁部11の上に、絶縁薄膜層12を形成して、磁気センサの感磁部11を設けた面を含む。少なくとも一つの面に非磁性の電磁波シールド薄膜13を形成し、この電磁波シールド薄膜13上には、耐摩耗性に優れた絶縁薄膜14を形成して磁気センサ1を構成する。
請求項（抜粋）：
移動体に連動した磁気記録媒体上に記録された磁気パターンによる磁界を検出して、信号処理部において移動体の位置および移動速度として検知する磁気式エンコーダに用いる磁気センサであって、絶縁基板上に感磁部を形成するとともにその表面を絶縁薄膜層で被覆し、前記感磁部を形成した面を含む少なくとも一つの面に、非磁性導電体の電磁波シールド薄膜を形成し、かつ前記電磁波シールド薄膜上に耐摩耗性の絶縁薄膜による保護膜を形成したことを特徴とする磁気センサ。
IPC (4件)：
G01D 5/245
, G01R 33/02
, G01R 33/09
, H01L 43/08
