特許

J-GLOBAL ID：200903039604713861

ガラス製光学部品の撥水製反射防止膜およびその製造 方法

発明者： 三田村 宣明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269531
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104102
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 反射防止特性を低下させることなく、撥水性を付与する。【構成】 ガラス基板上にMgF2 層を最表層とした反射防止層を形成し、反射防止層上に光学的膜厚が5nm以下のSiO2 からなる密着層を形成し、この上に光学的膜厚が5nm以下の含フッ素シリコンからなる撥水層を形成して反射防止膜とする。密着層により撥水層の密着性が向上し、密着層および撥水層が5nm以下の膜厚のため反射防止層の反射防止特性に悪影響を与えない。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の表面に真空蒸着により形成されフッ化マグネシウムからなる最表層を有した単層または多層の反射防止層と、この反射防止層の表面に真空蒸着により形成された光学的膜厚が5nm以下の二酸化ケイ素からなる密着層と、この密着層上に真空蒸着により形成された光学的膜厚が5nm以下の含フッ素シリコンからなる撥水層とを備えていることを特徴とするガラス製光学部品の撥水性反射防止膜。