特許

J-GLOBAL ID：200903039608085520

超小型電子構造体に用いるノボラックポリマー系プレーナー化フィルム

発明者： ドレイジ,ジェームズ・スティーブン
出願人/特許権者： アライドシグナル・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-504372
公開番号（公開出願番号）：特表平9-507966
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】熱に暴露した際にフィルムが基板に付着した状態を保持するプレーナー化フィルムを形成する改良法であって、まず基板の表面に、低分子量ノボラック樹脂、ならびに非フッ素化炭化水素、フッ素化炭化水素、およびその組合わせよりなる群から選ばれる界面活性剤を含有するポリマー溶液を適用し、次いで基板を加熱することを含む方法。

請求項（抜粋）：

熱に暴露した際にフィルムが基板に付着した状態を保持するように基板上に連続プレーナー化フィルムを形成する方法であって、改良点が (a)基板の表面に、低分子量ノボラック樹脂、ならびに非フッ素化炭化水素、フッ素化炭化水素およびその組合わせよりなる群から選ばれる界面活性剤を含むポリマー溶液を適用し;そして (b)その溶液と基板を加熱してその基板表面に連続プレーナー化フィルムを形成することを含む上記方法。

IPC (3件)：

H01L 21/312 ,  C08G 8/10 NBD ,  C09D161/06 PHF

FI (3件)：

H01L 21/312 A ,  C08G 8/10 NBD ,  C09D161/06 PHF

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-110368
  
• 特開昭64-065138
  
• 特開昭62-209126