特許
J-GLOBAL ID:200903039611792092
信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長尾 達也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-305135
公開番号(公開出願番号):特開2002-116132
出願日: 2000年10月04日
公開日(公表日): 2002年04月19日
要約:
【要約】【課題】プローブ変位検出のための機構を簡単化することができ、また複数のプローブを用いる場合においても検出系の構成を簡便化することができ、省スペース化を図ることが可能な信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法を提供する。【解決手段】プローブと試料との間に働く原子間力を検出し、それらの信号の変化から該試料表面の凹凸あるいは電気特性を測定する信号検出装置において、前記プローブを、該プローブの支持基板上の平板電極と、それに対向して設けられた該プローブ上の平板電極との間に働く静電力によって駆動し、該電極間の静電容量の変化から、前記プローブの変位を検出するように構成する。
請求項(抜粋):
プローブと試料との間に働く原子間力を検出し、それらの信号の変化から該試料表面の凹凸あるいは電気特性を測定する信号検出装置において、前記プローブを、該プローブの支持基板上の平板電極と、それに対向して設けられた該プローブ上の平板電極との間に働く静電力によって駆動し、該電極間の静電容量の変化から、前記プローブの変位を検出する機構を有することを特徴とする信号検出装置。
IPC (3件):
G01N 13/16
, G01B 7/34
, G01B 21/30
FI (4件):
G01N 13/16 A
, G01N 13/16 C
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30
Fターム (35件):
2F063AA02
, 2F063AA43
, 2F063BB01
, 2F063CA34
, 2F063CA40
, 2F063DA01
, 2F063DA04
, 2F063DB04
, 2F063DD02
, 2F063DD06
, 2F063EA16
, 2F063EB01
, 2F063EB15
, 2F063EB23
, 2F063HA01
, 2F063HA20
, 2F063LA01
, 2F063LA04
, 2F063LA11
, 2F063LA29
, 2F063LA30
, 2F063MA05
, 2F069AA57
, 2F069AA60
, 2F069BB40
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG20
, 2F069GG62
, 2F069GG65
, 2F069HH04
, 2F069HH30
, 2F069LL03
, 2F069MM24
, 2F069NN00
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