特許

J-GLOBAL ID：200903039612084725

複屈折測定装置

発明者： 吉住 恵一 ,  久保 圭司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-051114
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249031
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 被測定物を回転させず2m/sec点と高速で大きな測定物の複屈折分布を測定できる複屈折測定装置を提供することを目的とする。【構成】 2周波直交偏光レーザ光を被測定物5に透過させ互いに45°方向に置かれた検光子1の出力から演算することにより、複屈折量と方向を同時に2m/secで測定できる。

請求項（抜粋）：

光周波数f1で、x軸方向に光電場が向き、z軸方向に伝播する直線偏光レーザ光と、光周波数f2で、レーザ光に対して垂直なy軸方向に光電場が向き、レーザ光と同じ光路を進む直線偏光レーザ光とを発生する光源と、差周波数f=f1-f2の差周波交流信号を発生する差周波発生手段1と前記レーザ光とレーザ光が透過するように配置した被測定物と、この被測定物を透過した前記レーザ光とレーザ光を偏光方向によらずほぼ一定の比率で分離する光分離手段と、これにより分離された一方の光をxy軸から45°方向の光のみ透過する検光子を通して光検出器で受光し検出された信号aと前記光分離手段により分離された他方の光をx軸、又はy軸方向のみを透過する検光子を通して光検出器2で受光し、検出された信号bと前記差周波交流信号と信号a及び信号bとの積qとsを得る乗算器と、この乗算器出力から前記被測定物の複屈折量dと遅相軸(又は進相軸)方向を算出する計算手段を備えた複屈折測定装置。