特許
J-GLOBAL ID：200903039616353488
引上げチャンバ内壁用洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215947
公開番号（公開出願番号）：特開平10-045488
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】 単結晶引上げ炉内を洗浄する洗浄装置を得る。【解決手段】 半導体単結晶引上げ炉のチャンバ底部構造を除くチャンバ殻体を載置するための台座と、台座上に載置されたチャンバ殻体の下周端と台座の周縁との間を密閉状態にシールする密閉手段と、台座上で密閉されたチャンバ殻体内を負圧にする吸引手段と、台座上に設置された1つ以上の洗浄流体噴出ノズルと、洗浄流体噴出ノズルを昇降させるノズル昇降手段と、洗浄流体噴出ノズルをチャンバ殻体内で回動させるノズル回動手段とを備えたもの。
請求項（抜粋）：
半導体単結晶引上げ炉のチャンバ底部構造を除くチャンバ殻体を載置するための台座と、台座上に載置されたチャンバ殻体の下周端と台座の周縁との間を密閉状態にシールする密閉手段と、台座上で密閉されたチャンバ殻体内を負圧にする吸引手段と、台座上に設置された1つ以上の洗浄流体噴出ノズルと、洗浄流体噴出ノズルを昇降させるノズル昇降手段と、洗浄流体噴出ノズルをチャンバ殻体内で回動させるノズル回動手段とを備えたことを特徴とする引上げチャンバ内壁用洗浄装置。
IPC (5件)：
C30B 15/00
, B01J 19/00
, B08B 3/02
, C30B 35/00
, H01L 21/208
C30B 15/00 Z
, B01J 19/00 H
, B08B 3/02 D
, C30B 35/00
, H01L 21/208 P
